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      GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例

    • 發(fā)布日期:2025-02-11      瀏覽次數(shù):1148
      • GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例

        GU型高真空(壓力)球閥用于接通或切斷真空(壓力)系統(tǒng)管路中的介質(zhì)流。應(yīng)用于真空、乳制品、酒業(yè)、生物工程、食品、制藥、飲料、化妝品及化工領(lǐng)域。真空閥門是指在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件,是指工作壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的閥門。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。

        在半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi),主要的應(yīng)用有鏈接大氣和腔室之間的門閥,腔室之間的傳輸閥,腔室和泵之間的插板閥或者擺閥。

        法蘭連接是高真空閥門最常見的連接方式,法蘭主要有三種,CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭,對應(yīng)的閥門一般稱作CF高真空閥門、KF法蘭閥門、ISO法蘭閥門。那么它們之間又有什么區(qū)別呢?

        真空球閥03.jpg

        1、CF真空法蘭

        CF法蘭的英文名是(ConflatFlang)。它是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤的真空法蘭。

        公稱直徑尺寸包括:DN16、40、63、100、160、200、250

        適用的真空度高達(dá):10-12mbar

        法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等

        法蘭通常為304、316不銹鋼等。

        2、ISO-KF真空法蘭:

        ISO-KF是應(yīng)用在真空系統(tǒng)中的一種快卸法蘭。他由以下幾個元件構(gòu)成:兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具,只要簡單地用手?jǐn)Q動碟形螺母就可以松開或壓緊聯(lián)接。

        ISO-KF真空接頭是小尺寸的快裝法蘭接頭,公稱直徑尺寸包括:DN10, 16, 25, 40, 50。

        制造標(biāo)準(zhǔn)包括:DIN28403,ISO2861

        適用的真空度高達(dá):10-8mbar。

        法蘭密封材料通常為:Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁等

        法蘭通常為:304、316不銹鋼等

        ISO-KF 真空接頭通常由法蘭(flang)、快夾(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成。

        3、ISO真空法蘭:

        ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空,經(jīng)常裝拆的各種應(yīng)用中。一般管子的直徑超過50mm(2英寸)。如果使用氟橡膠O形圈,可以承受150℃烘烤。

        ISO-K和ISO-F真空接頭是大尺寸的真空接頭,公稱直徑尺寸包括:DN63、100、160、200、250、320、400、500 和630。

        ISO法蘭常用的兩種形式是ISO-K和ISO-F。

        制造標(biāo)準(zhǔn)包括:DIN28404 ,ISO 1609

        可應(yīng)用在要求真空度高達(dá)10-8mbar的場合

        法蘭密封材料通常為Viton、 Buna、 Silicone、EPDM、鋁絲等

        法蘭通常為304、316不銹鋼等

        A、ISO-K真空接頭通常由法蘭(flang)、法蘭爪(clamp)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成。

        B、ISO-F真空接頭通常由法蘭(flang)、密封圈(O-Ring)、中心定位環(huán)(centeringring)組成,與ISO-K不同的地方是法蘭用螺栓堅固。

        4 、NW系列:

        NW同樣是用在高真空系統(tǒng)中的真空配件,是日本的規(guī)范,所以NW的真空配件在日企或者日本設(shè)備里面用到的相對來說多一些。前面我們說過,ISO系列的是兩片ISO的法蘭片和四個雙卡鉤進(jìn)行連接,而NW的鏈接方式是兩片NW的法蘭在一起,用鏈?zhǔn)娇ü窟M(jìn)行連接(N63的法蘭外觀上就是大一號的NW50的法蘭)。

        真空球閥12.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例高真空球閥的特點

        1. 優(yōu)異的密封性能

        • 真空密封采用金屬密封(如焊接金屬波紋管)或彈性密封(如氟橡膠、PTFE),在高真空下可實現(xiàn)零泄漏。


        進(jìn)口高真空球閥的結(jié)構(gòu)組成

        • 耐高真空

          • 適用于10?1~10?? Pa的真空度,甚至更高的超高真空條件。

        • 結(jié)構(gòu)緊湊

          • 閥體小巧,適合高真空系統(tǒng)的緊湊布局。

        • 耐腐蝕性強

          • 閥體多采用不銹鋼制造,能夠抵抗真空環(huán)境下腐蝕性氣體的影響。

        • 操作靈活

          • 可手動、電動或氣動控制,啟閉迅速。

        • 低排氣率

          • 材料經(jīng)過特殊處理,減少閥體內(nèi)表面和密封件的排氣量,提高真空系統(tǒng)穩(wěn)定性。

        • 長壽命設(shè)計

          • 使用壽命長,密封性能穩(wěn)定可靠,適合頻繁開關(guān)操作。

        1. 閥體

        • 通常采用不銹鋼材料,滿足高真空及腐蝕性介質(zhì)的要求。

        • 球體

        • 精密加工的不銹鋼球體,確保高真空環(huán)境下的低摩擦和高密封性。

        • 閥座

        • 根據(jù)需求選用金屬密封或軟密封(如PTFE、氟橡膠)。

        • 閥桿

        • 防吹出設(shè)計,傳遞扭矩實現(xiàn)啟閉,采用真空密封設(shè)計。

        • 密封件

        • 金屬波紋管、彈性密封圈等材料,確保真空下的零泄漏。

        • 驅(qū)動裝置

        • 可選手動操作、電動執(zhí)行器或氣動執(zhí)行器,實現(xiàn)自動化控制。

        • 接口類型

        • 可配CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭或真空焊接接口,適應(yīng)不同的真空系統(tǒng)。


        • 真空球閥05.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例的工作原理

        1. 啟閉控制

        • 通過手柄、氣動或電動執(zhí)行器驅(qū)動閥桿,旋轉(zhuǎn)球體90°實現(xiàn)管路的啟閉控制。

        • 密封保持

        • 在關(guān)閉狀態(tài),球體與閥座貼合,配合真空密封件,阻止真空泄漏。

        • 全開狀態(tài)

        • 球體流道與管道流道對齊,確保氣流暢通,保持真空系統(tǒng)的高效運行。

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例的優(yōu)點

        1. 適用范圍廣

        • 能滿足高真空、超高真空以及少量正壓工況。

        • 密封可靠性高

        • 真空密封技術(shù)確保零泄漏,保障系統(tǒng)穩(wěn)定性。

        • 耐用性強

        • 經(jīng)過拋光處理和真空脫氣處理的部件,能長期工作在高真空環(huán)境。

        • 操作便捷

        • 手動和自動化控制選擇靈活,滿足不同真空系統(tǒng)需求。

        • 低維護(hù)成本

        • 高精度制造與優(yōu)質(zhì)材料,減少了長期維護(hù)的頻率和成本。

        進(jìn)口高真空球閥的應(yīng)用領(lǐng)域

        1. 半導(dǎo)體制造

        • 適用于真空鍍膜設(shè)備、刻蝕機等高真空環(huán)境。

        • 光電行業(yè)

        • 用于真空光學(xué)設(shè)備、激光真空系統(tǒng)。

        • 科研實驗室

        • 真空實驗設(shè)備中的流量切斷或切換控制。

        • 航天領(lǐng)域

        • 用于航天器真空測試系統(tǒng)和模擬高真空條件。

        • 精密制造

        • 涉及真空封裝和真空熱處理的設(shè)備。

        • 核工業(yè)

        • 高真空系統(tǒng)中的流體控制和安全切斷。

        • 真空球閥03.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例的選型要點

        1. 真空度要求

        • 根據(jù)系統(tǒng)要求選擇適應(yīng)的真空范圍(如高真空或超高真空)。

        • 密封形式

        • 金屬密封:適用于高溫、超高真空等苛刻工況。

        • 軟密封:適用于中低真空系統(tǒng),性價比高。

        • 材質(zhì)選擇

        • 通常選擇304、316L不銹鋼,必要時選擇耐腐蝕合金。

        • 接口方式

        • 根據(jù)系統(tǒng)管路接口選擇CF、KF、ISO法蘭或真空焊接。

        • 驅(qū)動方式

        • 手動適合簡單系統(tǒng),氣動或電動適用于自動化系統(tǒng)。

        • 工作溫度

        • 確保閥門材質(zhì)和密封件耐高溫性能滿足實際工況需求。

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例的維護(hù)保養(yǎng)

        1. 清潔保養(yǎng)

        • 定期清理閥體內(nèi)表面和球體,防止污染物影響密封性能。

        • 潤滑處理

        • 使用真空專用潤滑劑,減少球體與閥座的磨損。

        • 密封件更換

        • 發(fā)現(xiàn)密封件老化或損壞時,及時更換以確保真空度。

        • 表面防腐

        • 閥門外表面需定期清潔,以防腐蝕性氣體導(dǎo)致的損壞。

        • 動作檢查

        • 定期測試閥門啟閉靈活性,確保球體、閥桿運行正常。

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例總結(jié)

        進(jìn)口高真空球閥是高真空系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,其優(yōu)異的密封性、耐高真空性能和適應(yīng)性,使其能夠滿足多種工業(yè)及科研領(lǐng)域的應(yīng)用需求。合理選型和科學(xué)維護(hù),可顯著提升真空系統(tǒng)的效率與安全性。

        真空球閥01.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥主要技術(shù)性能

        閥門漏率:

        ≤1.3x10-5 Pa.L/S

        適用溫度:

        -30~+150℃

        -30~+300℃(PPL密封)

        適用范圍:

        連接型式

        使用壓力范圍(Pa)

        活套法蘭(GB6070)

        0.6x106-6.7x10-5

        焊接法蘭(GB6070)

        1.6x106-6.7x10-5

        快卸法蘭(GB4982/ISO-KF)

        105-6.7x10-5

        螺紋連接

        1.6x106-6.7x10-5

        安裝狀態(tài):

        任意

        主要零件材料

        閥體、球芯、閥桿:

        不銹鋼

        密封件:

        四氟乙烯、氟橡膠、PPL.





        GU型高真空(壓力)球閥外形及連接尺寸(mm)

          

        真空球閥08.jpg

        螺紋連接的外形及連接尺寸(圖一)

        Model

        DN

        G

        H

        E

        L

        型號

        GU-10(G)

        10

        1/4"

        52

        105

        68

        GU-16(G)

        16

        1/2"

        64

        130

        72

        GU-20(G)

        20

        3/4"

        67

        130

        82

        GU-25(G)

        25

        1"

        83

        165

        90

        GU-32(G)

        32

        1-1/4"

        89

        165

        112

        GU-40(G)

        40

        1-1/2"

        100

        190

        120

        GU-50(G)

        50

        2"

        125

        190

        145

        GU-63(G)

        63

        2-1/2"

        150

        250

        185

        GU-80(G)

        80

        3"

        161

        250

        210

        活套法蘭連接(GB6070)(圖二)

        Model

        DN

        D

        Do

        H

        E

        L

        n-φc

        型號

        GU-10(F)

        10

        55

        40

        52

        105

        84

        4-φ6.6

        GU-16(F)

        16

        60

        45

        64

        130

        84

        4-φ6.6

        GU-20(F)

        20

        65

        50

        67

        130

        114

        4-φ6.6

        GU-25(F)

        25

        70

        55

        83

        165

        114

        4-φ6.6

        GU-32(F)

        32

        90

        70

        89

        165

        140

        4-φ9

        GU-40(F)

        40

        100

        80

        100

        190

        160

        4-φ9

        GU-50(F)

        50

        110

        90

        125

        190

        170

        4-φ9

        GU-63(F)

        63

        130

        110

        150

        250

        195

        4-φ9

        GU-80(F)

        80

        145

        125

        161

        250

        220

        8-φ9

        GU-100(F)

        100

        165

        145

        180

        280

        280

        8-φ9

        快卸法蘭連接(GB4982)(圖三)

        Model

        DN

        D1

        D

        H

        E

        L

        型號

        GU-10(KF)

        10

        12.2

        30

        52

        105

        84

        GU-16(KF)

        16

        17.2

        30

        64

        130

        84

        GU-25(KF)

        25

        26.2

        40

        83

        165

        114

        GU-32(KF)

        32

        34.2

        55

        89

        165

        140

        GU-40(KF)

        40

        41.2

        55

        100

        190

        160

        GU-50(KF)

        50

        52.2

        75

        125

        190

        170

        焊接式球閥外形及連接尺寸(圖四)

        Model

        DN

        D

        H

        E

        L

        型號

        GU-10H

        10

        17.5

        52

        105

        94

        GU-16H

        16

        22.7

        64

        130

        104

        GU-20H

        20

        30

        67

        130

        114

        GU-25H

        25

        33.5

        83

        165

        114

        GU-32H

        32

        42

        89

        165

        140

        GU-40H

        40

        48.5

        100

        190

        160

        GU-50H

        50

        60.5

        125

        190

        170

        GU-63H

        63

        76.5

        150

        250

        195

        GU-80H

        80

        90

        161

        250

        203

        GU-100H

        100

        106.5

        180

        280

        280

        球閥安裝全攻略:預(yù)備工作、詳細(xì)步驟及使用須知
        在閥門行業(yè)中,球閥的安裝與使用是每位從業(yè)者必須掌握的技能。那么,如何正確安裝球閥?在安裝前又需做好哪些準(zhǔn)備工作呢?同時,在使用過程中又有哪些事項需要我們特別留意呢?接下來,我們將為您一一解答這些問題,助您輕松掌握球閥的安裝與使用技巧。

        真空球閥07.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例安裝前的準(zhǔn)備

        1. 確保前后管道同軸,兩法蘭密封面平行。管道需能承受球閥重量,否則應(yīng)配適當(dāng)支撐。

        2. 吹掃閥前后管線,清除油污、焊渣及其他雜質(zhì)。

        3. 核對球閥標(biāo)志,確認(rèn)完好無損。多次開關(guān)以驗證其性能。

        4. 移除球閥兩端連接法蘭的保護(hù)件。

        5. 檢查并清洗閥孔,確保無異物,以防損傷閥座密封面。

        球閥安裝步驟

        1. 將球閥裝上管線,注意任何一端都可裝在上游端。手柄驅(qū)動的球閥可任意位置安裝,但齒輪箱或氣動球閥應(yīng)直立安裝,即驅(qū)動裝置在上方。

        2. 在閥法蘭與管線法蘭間裝上密封墊,按管路設(shè)計要求進(jìn)行。

        3. 逐次、對稱、均勻地擰緊法蘭上的螺栓。

        4. 若采用氣動驅(qū)動器,需連接氣動管線。

        球閥安裝后檢查

        1. 操作驅(qū)動器多次啟閉球閥,確保靈活無卡澀。

        2. 按管路設(shè)計要求檢查管道與球閥間法蘭結(jié)合面的密封性能。


        3. 真空球閥04.jpg

        GU型高真空(壓力)球閥操作應(yīng)用案例的使用注意事項

        1. 拆卸分解前必須確認(rèn)球閥上、下游管道已卸壓。

        2. 清洗非金屬零件后應(yīng)立即取出,避免長時間浸泡。

        3. 裝配時螺栓需對稱、逐步、均勻地擰緊。

        4. 使用與球閥中零件及工作介質(zhì)相容的清洗劑。若工作介質(zhì)為燃?xì)?,可用汽油清洗金屬件,非金屬件用純凈水或酒精清洗?/p>

        5. 分解下來的零件可用浸洗方式清洗,金屬件可用浸漬有清洗劑的綢布擦洗,以確保去除所有油脂、污垢等。
          6、在分解和再裝配球閥時,必須格外小心,以免損傷任何零件的密封面,特別是非金屬零件。當(dāng)取出O型圈時,建議使用專用工具以確保操作正確。

        7、清洗完成后,需要等待被洗壁面的清洗劑揮發(fā)(可以用未浸清洗劑的綢布擦拭確認(rèn))。但請注意,清洗后的零件不得長時間擱置,以防生銹或被灰塵污染。

        8、在裝配新零件之前,也必須確保它們已經(jīng)清洗干凈。

        9、潤滑是裝配過程中的一環(huán)。應(yīng)使用與球閥金屬材料、橡膠件、塑料件及工作介質(zhì)均相容的潤滑脂。例如,當(dāng)工作介質(zhì)為燃?xì)鈺r,可以選擇特221潤滑脂。在密封件安裝槽、橡膠密封件以及閥桿的密封面和摩擦面上,都應(yīng)涂抹一層薄潤滑脂。

        10、裝配過程中,應(yīng)確保零件表面上或內(nèi)腔中沒有任何金屬碎屑、纖維、油脂(除非是規(guī)定使用的)、灰塵及其它雜質(zhì)或異物,以避免污染或粘附。